Компанией Алдитек совместно с корпорацией V-Technolgy разработаны методы бесконтактного измерения объектов и построения их трехмерных профилей (поверхностей). Эти методы успешно применяются в системах инспекции и бесконтактного измерения при производстве LСD матриц, но могут использоваться и для других объектов PDP, OLED, дорожек и элементов печатных плат и т.д.

В зависимости от задачи используются разные оптические системы - высокоскоростные камеры высокого разрешения, конфокальный микроскоп и др. На первом рисунке представлена оптическая система нового поколения. Ее отличительной особенностью является то, что в формировании лазерного луча участвует управляемая матрица раздельных зеркал (DMD). Это позволяет сканировать большую площадь без перемещения оптической головки, что существенно сокращает время сканирования. 

Такие системы позволяют осуществлять измерения с высокой точностью (разрешающая способность от 1 нм, диапазон измерений по высоте от 10 мкм).

На нижнем рисунке представлены результаты сканирования и последующей обработке при построении поверхности и профиля  измеряемого объекта.